Halbleitertechnik
Ätzen Dotieren Schichtaufbau
Kurze Beschreibung der Einsatzgebiete von Spezialgasen
Spezialgase werden für die wichtigen in der Halbleiterproduktion vorkommende Prozesse eingesetzt fürs:
- Inertisieren
- Schichtaufbau
- Ätzen
- Dotieren
Ätzen
Welche typischen Reinst- oder Edelgase werden eingesetzt:
Geätzt wird in den gängigen Prozessen mit Plasmaanlagen, d.h. die Gase werden im Plasma zersetzt, eine aktive Komponente wird freigesetzt und ätzt die Oberflächen an. Benutzt werden Fluorkohlenstoffverbindungen wie R23, R116, R14 oder andere Fluorträger wie SF6 und NF3. Zum Spülen kommt HCl zum Einsatz.
Dotieren
Welche Gasgemische werden wofür und in welchen Konzentrationen gebraucht:
Als Dotierstoffe werden meist verwendet Bor, Phosphor und Arsen. Die typischen Gemische sind:
- Phosphin/Silan
- Phosphin in Stickstoff
- Arsin in Wasserstoff
- Diboran in Argon oder Wasserstoff
Schichtenaufbau
Welche typischen Reinst- oder Edelgase werden eingesetzt:
Der Schichtaufbau erfolgt meist mit:
- Silan
- Dichlorsilan
Bitte kontaktieren sie bei Fragen:
Gerardo Girardi
Leiter Verkauf Spezialgase
Tel: +41 62 886 41 42
Fax: +41 62 886 41 03
