Halbleiterherstellung und Optoelektronik
In unserer Welt sind Halbleiter und optoelektronische Bauteile verschiedenster Art nicht mehr weg zu denken. In der Produktion dieser Komponenten werden höchste Qualitätsansprüche an die verwendeten Gase gestellt. Um den verschiedenen Halbleitern ihre spezifischen Eigenschaften zu verleihen, kommen vielfach hochreaktive, giftige oder korrosive Gase zum Einsatz.
Auswahl verschiedener von MESSER unterstützter Verfahren der Elektronikindustrie
- Reaktives Ionenätzen (RIE)
- Plasma Abscheidung (PECVD)
- Plasmaätzen (PE)
- Sputtering
